超純水的制備

對于用水大戶以及對水質要求較高的電子行業來說，要解決好節約用水和水資源的循環利用是令人頭痛的難題。大部分電子行業的超純水主要采用反滲透工藝生產。采用反滲透膜裝置可有效地去除水中的小分子有機物、可溶性鹽類，可有效地控制水的硬度。半導體電子工業所用的高純水，以往主要是采用化學凝集、過濾、離子交換等方法制備，這些方法的最大缺點是流程復雜、再生離子交換樹脂的酸堿用量大、成本高。隨著電子工業的發展，對生產中所用純水水質提出了更高的要求。由膜技術與離子交換法組合過程所生產的純水中雜質的含量已接近理論純水值。

目前，美國電子工業已有90%以上釆用了反滲透和離子交換相結合的裝置。據報道，在原水進入離子交換系統以前，先通過反滲透裝置進行預處理，可節約成本20%?50%。

許多類別的工業污水中常含有較高的鹽度，釆用離子交換吸附的脫鹽方法不僅處理成本高，而且離子吸附材料的再生過程中也會產生新的水污染問題。反滲透由于其運行成本低，脫鹽效率高，在工業廢水脫鹽處理中有著廣泛的應用。